| 探头，悬臂梁，扫描探针显微镜，扫描隧道显微镜和测量的方法 |
| JP2005339781 2005-11-25 发明申请 |
| 2007-6-14 |
| 要解决的问题 : 以提供一种探针能够抑制干扰的一个频带的结构，即使当一个测量样品是接近到一锐化部分，以被稳定在一个AFM接触的方式，一种悬臂梁，一个扫描探针显微镜，和一个扫描隧道显微镜的测量方法。溶液 : 一金薄膜104形成于盖覆盖所述锐化部分103是此外与一隧道绝缘膜105包括一硅氧化物或该等。即使当所述锐化部分103之间的距离和所述测量样品201中变得非常短的所述AFM接触的方式，可以进行测量而不干扰所测量的样品201所述带结构，由于绝缘尽可能多的对象作为所述隧道绝缘膜105的一个部分被插入所述金薄膜之间的104覆盖所述锐化部分103和所述测量样品201。版权 : (C)2007，inpit |
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