| 扫描器结构用于扫描近场光学显微镜 |
| JP2005341464 2005-11-28 发明申请 |
| 2007-6-14 |
| 要解决的问题 : 以执行高精度位置控制与高谐振频率在一个高的速度而不牺牲一Z-方向中的一个位移量为以一扫描器结构用于一个扫描近场光学显微镜。溶液 : 该扫描器的结构中用于一个扫描近场光学显微镜，一个支撑部件是用于连接一个探针用于获取一样品表面上的信息和一种装置用于振动所述探针与一圆柱形压电元件，其在Z方向是引起以扫描，和所述支撑部件具有一个帽形结构具有一个凹陷内所述的压电元件。所述探针和所述的装置，用于振动所述探头内存在所述压电元件。版权 : (C)2007，inpit |
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