| 扫描探针显微镜 |
| JP2007044337 2007-2-23 发明申请 |
| 2007-6-14 |
| 要解决的问题 : 以纳米的顺序或下维持高的测量分辨率，执行宽范围的测量，和开关，作为必要的，以加宽该范围为进行高分辨率窄范围的测量结果和执行宽范围的测量。溶液 : 一扫描探针显微镜是提供具有一探头20; 一种XYZ精细定位机构18用于提供用于样品16和所述探针的相对位移; 和一移动机构，包括两个XY移动部分12提供一个显微镜载物台的所述参考平面的上方11a，具有所述用于安装所述样品上表面，和上方移动，所述参考平面和一XY致动器13用于移动所述沿所述参考平面XY移动部分的方向。该XYZ精细定位机构包括两个高度方向的精细定位机构和一个表面-方向的精细定位机构。根据这种结构，当所述表面的所述样品是通过一种用于测量探头到被扫描该样品与所述探头，或者所述表面方向的精细定位机构或所述移动机构将被使用，并从而该样品被测量的所述的表面特性。版权 : (C)2007，inpit |
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