| 液体浸渍观察的方法，液体浸入式显微镜装置，和检查装置 |
| JP2005342094 2005-11-28 发明申请 |
| 2007-6-14 |
| 要解决的问题 : 以提供一种液体浸渍观测方法和一种液体浸入式显微镜装置能够容易地和可靠地保持观测精度，和以提供一种检查装置能够容易地和可靠地保持的检查精度。溶液 : 该液体浸渍观察方法是，其特征在于浸渍液被供给一个物镜(8)之间和一个对象(11)，和所述温度控制所述的浸渍液是与精度执行对应于所述的规范所述的物镜(8)。具体地，该精度被设置，使得所述波前像差所述物镜的透镜(8)是在所述可允许的程度。因此，一种加热方法(术语中的冷却方法)和一控制方法的一个温度控制可以简化以该绝对最小，同时可靠地保持所述观测精度。版权 : (C)2007，inpit |
微信公众号