| 扫描电子显微镜 |
| JP2005338008 2005-11-24 发明申请 |
| 2007-6-14 |
| 要解决的问题 : 以提供一种电子束显微镜装置具有一扫描控制可提高的吞吐量的该装置通过缩短所述相当大的扫描时间而不改变图像采集条件在所述电子束扫描的时间。溶液 : 所述相位之间的相位差当一扫描启动信号被提供和该AC电源相波被检测到，和所述扫描信号被供给到所述的相移扫描的偏转器，其部分差从所述电源相位检测波形。从而，相当大的扫描时间被缩短和所述的装置可以被改进吞吐量。版权 : (C)2007，inpit |
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