| 场致发射电子枪，电子显微镜及电子束曝光装置 |
| JP2006293048 2006-10-27 发明申请 |
| 2007-6-14 |
| 要解决的问题 : 提供一种场致发射电子枪可控制电子发射特性的劣化，成本低， 并提供电子显微镜及电子束曝光装置。溶液 : 场致发射型电子枪具有(a)一绝缘底座， (b)终端固定在底座上， (c)场发射发射器采用金刚石具有尖锐端部， 和(D)导电构件，其夹持场发射发射器和电连接所述场发射发射器与 终端。 电子显微镜及电子束曝光装置提供与该场致发射电子枪。版权 : (C)2007，补正 |
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