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扫描探针显微镜的探针清洗方法

US11633333 2006-12-4 发明申请

2007-6-14

将附着有异物的探针压到样品上。此时，在悬臂侧的扫描器和样品基座之间，相对地产生水平振荡和垂直振荡。通过对探针尖端产生适当的摩擦，除去附着在探针尖端上的异物，并可对其进行清洗。