| 共焦扫描显微镜 |
| JP2005330294 2005-11-15 发明申请 |
| 2007-6-7 |
| 要解决的问题 : 以得到一种共焦扫描型显微镜实现准确的高度测量用户的中和被改进可操作性。溶液 : 一个光电检测器5检测来自一样品16所述的光的强度通过一个物镜15和一个针孔板18设置在一位置共轭到所述物镜的光聚光位置15。一控制部分2获取一个共焦图像的所述样品16基于所述的光的强度; 所述样品上，同时它指定一个感兴趣的区域16和获取所述指定的感兴趣的区域作为一个条件计算对象区域。此外，所述控制部2计算所述光电检测器5所述的检测灵敏度，当所述共焦图像获取所获得的条件计算对象区域内从亮度信息，并计算该物镜15的相对位置，以该样品16，其中所述的检测灵敏度所述光电检测器5被切换到所述计算的灵敏度。版权 : (C)2007，inpit |
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