| 表面′S的翻译和倾斜用于扫描探针显微镜测量方法，包括聚焦测量光束的干涉仪与光学系统，以及利用反射光束分束后用于测量表面倾斜 |
| DE102005056467 2005-11-26 发明申请 |
| 2007-6-6 |
| 本发明涉及一种过程和一个用于所述光收集装置的所述翻译和倾斜表面，在所述光栅的特定从cantilervern探针显微镜以及作为示踪剂，以触觉触摸。本发明是基于所述任务的美元的一种，以指示一个程序和一种装置，其使一个测量可能相对小的表面上。根据本发明的一个成功美元所述溶液到所述任务与一个过程，与其中所述的messstrahl一个干涉仪与一光学系统(5)所述表面(6)上的一个聚焦和其messstrahl(m)反射到一个分束用于干涉式线性测量和用于所述测量的倾斜被使用。 |
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