| 红外显微镜具有校准功能，和红外显微镜校准的方法 |
| JP2005324948 2005-11-9 发明申请 |
| 2007-5-31 |
| 要解决的问题 : 以提供一个红外线显微镜具有一个校准函数能够实现高可靠性的校准的; 和一个红外线显微镜校准所述的方法。溶液 : 该红外线显微镜的使用，作为照明光，红外光透过硅氧烷部件和执行观察包括一个当所述红外物镜透镜12，其中产生的像差的光透过所述硅氧烷元件是先前校正，一种参考样品11，用于校准所述物镜透镜12设置在所述的光学轴，一个硅芯片9具有一特性等效于该硅氧烷元件，和一种硅酮保持工具8用于保持所述的光学路径上的硅芯片所述物镜透镜12之间和所述参考样品11，用于校准。版权 : (C)2007，inpit |
微信公众号