| 基于探针上的压电陶瓷管，用于扫描探针显微镜 |
| RU2005134281 2005-11-8 发明授权 |
| 2007-5-27 |
| 字段 : 纳米技术，特别地，设备，确保接收到关于拓扑和其它信息对象的表面特性。物质 : 根据本发明中，基于探针用于扫描探针显微镜压电陶瓷管上，含有基与敏感元件，在其中针被安装，另外特征的中空体，基板被制成形成的板与接触区域中，敏感元件由压电陶瓷管的具有至少第一和第二的外部表面上形成电极的压电陶瓷管和具有至少1\/1的内部表面上形成电极的压电陶瓷管和至少第二和第三电极; 压电陶瓷管的外表面上形成。敏感元件被保持在从上悬挂位置在基座与一个外部的电极的电触点和一个接触区域。两个其它电去耦的接触区域被连接到两个其它电极的压电陶瓷管。空心体被保持在这样的一种方式中的基，其位置，其中压电陶瓷管被固定和电去耦是位于外侧其空心。针被电连接到第三电极。效果 : 增加探针的使用可靠性和其功能能力。5Cl，2显示 |
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