| 紧凑型上扫描式原子力显微镜测头及其使用方法 |
| CN202311067918.3 2023-8-23 发明申请 |
| 2023-11-21 |
| 本发明公开了一种紧凑型上扫描式原子力显微镜测头及其使用方法，紧凑型上扫描式原子力显微镜测头包括：光杠杆模块(I)和三维扫描模块(II)，所述光杠杆模块(I)用于检测微悬臂梁探针与样品相互作用引起的悬臂梁形变，所述三维扫描模块(II)用于驱动光杠杆模块(I)相对于样品表面进行三维扫描。本发明的光杠杆模块(I)作为一个整体搭载在三维扫描模块(II)上，扫描过程中各元件相对位置保持不变，不产生光杠杆跟踪误差；通过外部调整机构可调整探针夹持器及第三反射镜、第四反射镜的位置，进而实现微悬臂梁探针的悬臂梁与激光焦点的对准以及反射光斑与光电探测器的对准，外部调整机构完成调节后脱离紧凑型上扫描式原子力显微镜测头，不增加三维扫描模块(II)负载。 |
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