| 扫描电子显微镜 |
| JP2005322434 2005-11-7 发明申请 |
| 2007-5-24 |
| 所要解决的问题是提供一种扫描电子显微镜，其通过高分辨率的SEM观察图像提供样品的表面信息。 方案：扫描型电子显微镜具备：保持试样的试样架； 加速和发射电子束的电子源； 通过聚焦发射的电子束形成电子探针的电子透镜系统； 扫描装置，用于在所述样品的表面上扫描所述电子探针； 以及通过电子扫描检测从样品释放的二次电子的检测器。 显微镜还设置有位置改变装置，用于改变检测器和样品架之间的距离。 版权：(C)2007, JPO&INPIT |
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