显微镜及显微镜自动对焦方法
 
CN200610141058.3  2006-9-28  发明申请

2007-5-23
 
  本发明提供一种显微镜及显微镜自动对焦方法。 显微镜,包括:光学系统,用于放大检体;调焦装置,用于调 节光学系统的焦点,使其对焦于检体;光学探测器,用于探测 通过光学系统的光线;测焦装置,用于在光学系统相对于检体 振动时,根据探测到的透过该光学系统的光线,估测光学系统 对检体的聚焦位置;以及控制器,根据测焦装置测定的对焦位 置控制调焦装置。
 
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