| 调谐叉型原子力显微镜探针，其调整方法及其制造方法。 |
| JP2005310011 2005-10-25 发明申请 |
| 2007-5-17 |
| 要解决的问题 : 以提供一种原子力显微镜探针具有一种音叉型石英振子结构，优良在检测灵敏度，强抵抗环境如温度变化或波动等，并能够被降低的在其成本和尺寸。溶液 : 所述原子力显微镜探针是配备有 : 两个驱动臂部大致设置在平行于每个其它; 一种探针前端部形成在所述的附近的任一个的所述驱动臂部; 一支撑部分用于支撑所述驱动臂部件和所述检测臂的一个端部; 驱动电极形成在所述驱动臂的至少与所述表面部分和检测电极形成在至少所述检测臂部到所述的表面。所述原子力显微镜是也，其特征在于，所述驱动臂部，所述探针部，所述检测臂部和所述支撑部由一个压电构件被一体地形成。版权 : (C)2007，inpit |
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