光图案与自动聚焦机构的显微镜,使用激励或与用于检测自动聚焦位置的检测光束路径焦平面
 
DE102005022125  2005-5-12  发明申请

2006-11-16
 
  它描述了一种与一建议和一检测光的光栅显微镜光线的路径,装置(9)用于所述rasternden扫描的对象(2)通过移位一个所示的点,线或multispotbereiches在所述物体(2)和所述点,线和multispotbereich示出物镜(6),其中用于所述的物镜(6)的聚焦调节机构(A)是预期的,由此一个自动聚焦机构(22)用于抓住该所述物镜的焦点电平(f)的情况(6),所不同的是预期的深度范围在所示的该点,线或multispotbereichlocalsolvent的检测器在不同的地方(20)示出。
 
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