| 用于照明光学系统和显微镜照明系统 |
| JP2005135593 2005-5-9 发明申请 |
| 2006-11-16 |
| 要解决的问题 : 以提供一个用于使亮的相位差观察的照明光学系统和暗视野观察通过获取环形照明而不损失光从一光源强度，和以提供一种照明光学系统用于一种曝光装置和一个显微镜照明系统使用它。溶液 : 所述用于照明光学系统包括一光源11，一聚光光学系统13用于冷凝或分散光或制作一个从所述的光的光通过聚光的光磁通的磁通分散源11，一环形透镜10用于环状冷凝所述的光磁通，一环形开口2设置在所述邻域的一聚光位置的所述光通冷凝成环状，和一冷凝器透镜3用于投影图像的所述环形开口2在一个光瞳位置6的一种观察光学系统或投影光学系统物镜透镜5。版权 : (C)2007，inpit |
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