| 扫描探针显微镜 |
| JP2006127720 2006-5-1 发明申请 |
| 2006-10-5 |
| 要解决的问题 : 以防止在所述测得的图像的精度劣化，通过扫描探针显微镜(SPM)由于语音线圈的热生成部分。溶液 : 该扫描探针显微镜中，一个或多个音圈电机，其将所述探头10位于在所述样品32安装在一个级31相对的位置，被直接或间接连接到所述探头10。这些语音线圈马达被装在自己的每个的音圈箱，一个或多个孔是由在一个或多个音圈箱，一风扇54的外侧设置所述音圈箱，在该基础那些的孔，和该风扇54产生的气流(A)，其穿过该孔，从所述语音线圈内向所述外箱。版权 : (C)2007，inpit |
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