| 位移检测机构用于扫描探针显微镜和扫描探针显微镜 |
| WOJP06302315 2006-2-10 发明申请 |
| 2006-8-31 |
| 一位移检测机构用于一个扫描探针显微镜能够快速地进行测量的具有高精度，即使如果一个物镜透镜或一照明系统被设置一样品上方或下方或一悬臂，和一个扫描探针显微镜包括它。该位移检测机构(112)用于一个扫描探针显微镜包括一个支撑部分(22)，用于支撑一悬臂(20)，一光源(114)用于照射一反射表面(14)与光，和一个光接收部分(121)用于接收的光反射离开所述反射表面(14)，和基于所述悬臂(20)的位移检测在所述光接收所述光接收部分(121)的位置，其中所述悬臂的所述后端(20)被固定到所述支撑部分(22)，和上述光被允许以撞击在所述反射表面(14)，同时倾斜朝向所述X轴和Y轴，从上方区域B和C所述远端侧上的所述悬臂(20)进行的区域A，B，C和D分段，从所述上方观看时，通过所述Y轴延伸在所述该悬臂(20)的纵向方向和所述X轴穿过所述反射表面(14)和延伸在所述Y轴垂直交叉的方向。 |
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