| 微动机构，用于扫描探针显微镜和扫描探针显微镜使用它 |
| WOJP06302316 2006-2-10 发明申请 |
| 2006-8-31 |
| 一微动机构用于一个扫描探针显微镜能够执行测量与高精度的同时增强所述扫描速度通过一种探针此外，和一个扫描探针显微镜包括它。所述微动机构用于一个扫描探针显微镜是提供一种扫描探针显微镜(SPM)(1)中具有一阶段(16)用于安装一个样品S，和一个探针(20)接近紧密或触摸所述的表面该样品S，其特征在于，所述微动机构包括一第一驱动部和第第二驱动部提供独立地，一探针微动机构(26)具有第一的驱动部分和微动，通过第一驱动部，所述探针(20)在所述X方向和Y方向平行的所述样品S与所述的表面和彼此交叉，和一个级微动机构(27)具有第二的驱动部分和微动，通过第二驱动部，该级(16)在所述Z方向垂直于所述样品的表面S。 |
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