| 扫描探针显微镜，测量使用相同的方法，和开尔文力显微镜 |
| JP2004339306 2004-11-24 发明申请 |
| 2006-6-8 |
| 要解决的问题 : 以提供一种测量方法，其使用一扫描探针显微镜具有高定量精度，以及以提供所述扫描探针显微镜。溶液 : 该测量方法，利用所述的扫描型探针显微镜包括一个过程测量所述的物理性能值一参考样品20通过检测该物理量，一探针116和所述参考样品20之间的作用; 一在所获得的测量结果计算测量的误差的过程从所述的过程测量所述物理特性所述参考样品20的值; 一个测量该样品的物理性能值的过程4，通过检测物理量之间的操作所述探针116和样品4; 和一校正所述测量结果的过程，从所述过程获得的用于测量所述的物理性能值该样品4，基于所测量的误差。版权 : (C)2006，膜℃。 |
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