| 电子光学系统和电子显微镜 |
| JP2004125048 2004-4-21 发明申请 |
| 2005-11-4 |
| 要解决的问题 : 以提供一个电子光学系统和一种电子显微镜能够有效地校正的位置的衍射图像表面和一介质图像表面，当更换样品。溶液 : 本发明的电子显微镜具有一个装置中的一个主光束3照射在样品5和所述电子光学系统50形成一个衍射产生的电子6的图像由该照射样品5与所述主光束3，该电子光学系统50具有一物镜透镜7设置在所述样品侧，一介质透镜8和一个减速透镜10设置在后级，一个衍射孔11形成在所述衍射图像表面22位于所述介质透镜8和减速透镜10之间，和一个衍射透镜9提供在该衍射图像的表面位置22位于所述介质透镜8之间和所述减速透镜10。从而，由于所述介质透镜8所述透镜的强度和所述衍射透镜9所述透镜的强度需要被单独调整该样品5被替换时，所述衍射图像的表面位置22和该介质图像表面33可以有效地校正。版权 : (C)2006，膜℃。 |
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