| 光阑校正方法和装置用于电子显微镜 |
| JP2004129440 2004-4-26 发明申请 |
| 2005-11-4 |
| 要解决的问题 : 以提供一个光阑校正方法和装置，用于它能够自动和准确的校正所述一种电子显微镜的轴向位移。溶液 : 一系统连接所述的电子显微镜100和一个计算机200通过一个接口是提供具有一会聚镜头光圈3，一个物镜光阑9，一个中间透镜的光阑11，一显示器24设置在一计算机200，用于指示一个图像，计算处理部21之间进行相互操作该计算机200中设置用于一个捕获的光阑图像和一个圆形图形对应的所述膜片联到所述的孔径以放大，和一个像散校正装置4进行像散校正该图像上。版权 : (C)2006，膜℃。 |
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