| 装置在扫描电子显微镜差控制系统装置及其方法。 |
| JP2005312316 2005-10-27 发明申请 |
| 2007-5-17 |
| 要解决的问题 : 以提供一个装置差控制装置能够降低测量的尺寸之间的差的一个多个通过简单地估计装置产生的所述的装置差的因素，以校准扫描电子显微镜装置基于在该估计结果，和允许进一步精确的布线图案的尺寸控制。溶液 : 该系统和其用于控制设备装置之间的差异的方法和装置中由于时间变化的差异扫描电子显微镜装置，其特征在于，包括测量装置10，30a1a，301aB; 18，30a用于所述设备之间的差值测量装置1A和由于基于时间的变化在二次电子图像通过成像一个标准晶片获得的数据和几乎同时测量指标值表示各种类型的装置状态，装置差因子分析部分30a1C和3A～E用于估算装置通过分析所述装置之间的关系的差产生因素的差异测量由所述测量装置和该指数值表示所述的各种类型的设备状态，和一个输出装置302，用于显示和输出所述的装置差产生因素的估计由所述的装置差因子分析部分。版权 : (C)2007，inpit |
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