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集成电路制造中用于扫描电子显微镜的样品制备的方法和结构

US11378888 2006-3-16 发明申请

2007-5-17

一种使用校准标准的方法。所述方法包括提供校准标准。在一个特定的实施例中，校准标准具有衬底，具有边缘区域的材料厚度；以及均匀厚度的保形材料，设置在边缘区域上。所述标准还具有设置在所述边缘区域上的具有均匀厚度的上表面图案。所述方法还包括将所述上表面图案用于扫描电子显微镜工艺上的校准工艺。