| 偏置电流型扫描隧道谱仪及扫描隧道显微镜 |
| CN200610097197.0 2006-10-31 发明申请 |
| 2007-5-16 |
| 本发明偏置电流型扫描隧道谱仪及扫描隧道显 微镜，特征是探针架固定于Z定位器或XYZ定位器一端、样 品架固定于基座，探针架和样品架位置可互换，固定在探针架 上的探针指向样品架上的样品，电流源连接探针和样品构成的 隧道结，该隧道结电压信号输入到缓冲器，由该缓冲器给出输 出信号。调节样品－探针间距Z时可测V－Z谱；用交流电流 源时可测dV/dI谱；用XYZ定位器时可测等高电压图像。如 接入反馈控制器则可测样品恒流等电压图像。本发明利用了隧 道结本身既有高阻特性可放大弱电流，且又寄生电容较小可提 高带宽，使测量带宽和增益同时获得提高，并能改善灵敏度和 信噪比；测量V－Z谱也比现有扫描隧道显微镜更简单、精确。 |
微信公众号