| 显微镜装置 |
| JP2005306772 2005-10-21 发明申请 |
| 2007-5-10 |
| 要解决的问题 : 以提供一显微镜装置能够有效地测量一个检查对象的。溶液 : 所述的显微镜装置1包括 : 用于成像的成像器7检查物体12通过一物镜透镜5规定的放大率; 一可变放大率的光学系统6用于改变所述检查对象的图像从所述物镜投影倍率透镜5到所述成像器7; 一控制器8用于控制该可变放大率的光学系统6和控制所述成像器7，同时改变所述投影倍率以连续图像的所述检查对象图像; 一个图像处理器9用于接合所述检查对象图像的同时，所述检查对象的图像变形，使得所述可视场中心部分可以具有最高的投影倍率和所述的投影倍率成为下作为它更接近以所述周边可视场从所述中心部分，和形成一个合成图像; 和一监视器装置10用于显示所述合成图像。所述监视器装置10被配置到各检查对象的图像失真，使得所述的投影倍率可以成为在所述的附近几乎相同的所述接头在所述接合所述检查对象的图像的情况下不同投影倍率。版权 : (C)2007，inpit |
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