| 振动式悬臂架及扫描探针显微镜 |
| US11595184 2006-11-9 发明申请 |
| 2007-5-10 |
| 本发明提供一种振动型悬臂夹持器，用于固定与试样相对的悬臂，该悬臂夹持器仅在其基端被支撑在主体部分上，并且在其前端具有探针。 所述保持器包括 : 悬臂附接支架，主体部分放置在所述悬臂附接支架上并以悬臂相对于样品倾斜预定角度的方式固定在所述悬臂附接支架上； 第一振动源，固定到悬臂连接支架上，并根据预定波形信号以相位和振幅振动； 固定有第一振动源的保持器主体； 以及第二振动源，其紧固到所述保持器主体上的至少一个位置，并产生振动以抵消从所述第一振动源行进到所述悬臂连接支架和所述保持器主体的振动。 所述保持器通过抵消附加振动而允许所述悬臂仅根据所述悬臂的振动特性振动。 |
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