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产业专利数据

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2 动物模型与化药新药专利
3 骨诱导再生材料专利
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用于电扫描探针显微镜的导电探针的前翼悬臂

US11137575 2005-5-26 发明授权

2007-5-1

本发明公开了一种用于电扫描探针显微镜导电探针的前翼悬臂，其中两个对称的前翼被安装成从悬臂前端的两个侧边延伸，使得这两个前翼位于导电尖端的两个侧边。悬臂的前翼结构能够有效抑制电扫描探针显微镜中的光学扰动，显著提高其分析精度。所述前翼结构可以为扫描区域提供有效的暗场，以免光吸收出现在半导体样品的扫描区域中，并且抑制在差分电容的测量和分析期间发生的光扰动。