| 增强扫描电子显微镜分辨率的方法和系统 |
| US11533306 2006-9-19 发明申请 |
| 2007-4-26 |
| 一种用于提高扫描电子显微镜分辨率的方法，该方法包括 : 响应于物体中二次电子的预期穿透深度来定义能带； 用一次电子束照射物体； 以及从到达光谱仪的电子产生图像，所述光谱仪具有在所述能带内的能量。 一种扫描电子显微镜，包括 : 用于支撑物体的载物台； 控制器，适于响应于物体中二次电子的预期穿透深度接收或限定能带； 适于用主电子束照射物体的照明光学器件； 光谱仪，由所述控制器控制以响应于所述限定的能带选择性地排斥电子； 以及处理器，适于从由光谱仪提供的检测信号生成图像。 |
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