| 液体浸渍显微镜 |
| WOJP06320761 2006-10-18 发明申请 |
| 2007-4-26 |
| 它是可能的，以提供一种液体浸渍显微镜能够执行中的一个衬底的液体浸渍观察的一个无损的方式，而不损害所述基板的质量。用于此，该液体浸渍显微镜包括 : 支撑装置(11-13)，用于支撑一基板(10a)作为一个观察对象; 一物镜透镜(14)所述液体的浸入式系统; 第一电源装置(15，16)用于供给超纯水作为观察所述的尖端端之间的液体所述物镜和所述衬底; 第一去除装置(20-22)用于去除所观察的观察后的液体所述衬底; 第二电源装置(17-19)用于提供一清洗液从所述观测除去液体通过第一不同的去除装置(20-22)到所述衬底的一个区域，其已经在触点与所述观测液; 和第二去除装置(20-22)用于去除后所述清洗液清洗该衬底。 |
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