| 测量条件设定方法在使用扫描探针显微镜样品的测量 |
| JP2005289657 2005-10-3 发明申请 |
| 2007-4-19 |
| 要解决的问题 : 提供一种技术能够容易地设定的各自的合适的测量参数，而不必设定该测量一个用户由于存在由所述判断的参数是一种情况下，产生一个误差是在一个测量通过所述所测量的参数设定形状由一用户当样品具有不均匀的形状(尤其是一种样品具有锐角的边缘)是使用一种扫描探针显微镜测量。 溶液 : 在所述使用所述扫描探针显微镜样品的测量，实际测量的目标是测量通过改变各自的测量参数，如一种扫描速度，一个反馈增益，接触力，等和所述特征量确定从所测量的形状是用来设定一适当的测量参数。 版权 : (C)2007，inpit |
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