| 扫描电子显微镜 |
| JP2006287787 2006-10-23 发明申请 |
| 2007-4-19 |
| 要解决的问题 : 提供一种扫描电子显微镜，其可以达到整个过程从精细调整到回顾通过完全自动化。 溶液 : 该扫描电子显微镜是提供与所述坐标计算校正后的精度的补偿功能，以通过使用一个矢量39被显示，所述自动中自动搜索期间确定比例因子的功能的检测从获取的坐标补偿后的外来材料\/缺陷信息，和计算异物的外观比所述的功能\/缺陷和时间从搜索所需的比例因子和测量条件。 版权 : (C)2007，inpit |
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