| 显微聚焦维护装置和显微镜装置 |
| JP2005287293 2005-9-30 发明申请 |
| 2007-4-19 |
| 要解决的问题 : 提供一种显微聚焦所需的维护装置能够缩短的时间用于检测一个焦位置，和以提供一显微镜装置。 溶液 : 该显微聚焦维护装置，其中所述物镜的焦点位置或一样品被在一搜索范围设定在一个光学轴移动方向，以便重复检测该焦点位置在规定的定时，然后，该聚焦状态的所述样品中的一种时效变化被校正，包括一搜索范围设定装置，用于设定所述搜索范围作为一种规定的初始范围在第一的焦点位置的检测时间，以及设定该搜索范围作为范围包括该最近的焦点位置，和还，具有一搜索宽度窄于第一搜索宽度在第二和随后的焦点位置的检测时间。 版权 : (C)2007，inpit |
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