| 四极静电偏转器、其快速偏转电子束方法及电子显微镜 |
| CN202311124230.4 2023-9-1 发明申请 |
| 2023-11-14 |
| 本发明提供了一种四极静电偏转器、其快速偏转电子束方法及电子显微镜。所述四极静电偏转器包括：四极静电部件、真空调节部件和电路控制部件；所述四极静电部件包括：电极、静电部件壳体和电子束防护板，通过采用四个电极圆周排布的阵列，实现四极静电偏转器的静电偏转部件，可以在与入射电子束方向垂直的平面内的两个相互垂直的方向(x，y方向)上产生均匀的电场。四极静电偏转器可以应用于透射电子显微镜或时间分辨透射电子显微镜，快速偏转电子束图像，在相机的单幅照片上同时获得多个动态变化图像。 |
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