| 该位置，形状和/或光学特性的变化，尤其是一种隔膜装置的光学显微镜等设备和/或过滤设备 |
| JP2006537233 2004-11-2 发明申请 |
| 2007-4-19 |
| 装置利用二维由单独可控单元阵列，用于形成孔径光阑置于光路的光学装置。在光圈孔的布置和/或过滤器，在其中形成，位置可以改变和/或光学特性，用于在光学器件中使用，至少一个二维阵列，单独可控元件组成的，设置用于形成振动膜的孔和/或滤波器在光学成像和/或照明光路径及连接与控制单元，用于控制所述各个别元素以这种方式，几何形状，光学特性和/或位置的孔阑可以控制和/或过滤器非常快速。这些改变也可制成“在线”过程中测量或调节在感测的光学细调谐。此外，使用这些系统中，精细的和费时的制备的隔膜可以省去几何形状的孔。 |
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