| 具有弯曲轴的扫描电子显微镜 |
| US11343418 2006-1-31 发明授权 |
| 2007-4-17 |
| 一个实施例涉及具有弯曲电子光轴的扫描电子束装置。 一种电子枪和照明电子光学器件被配置为沿着第一轴产生初级电子束。 围绕第二轴配置物镜电子光学器件，以接收初级电子束，将入射电子束聚焦到衬底上，并从衬底取回散射电子的发射束。 探测电子光学器件围绕第三轴配置以接收发射光束并将发射光束聚焦到探测器上。 光束分离器以第一和第二轴之间具有与第二和第三轴之间相同的角度的方式耦合到照明电子光学器件，物镜电子光学器件和检测电子光学器件并将其互连。 射束偏转器被配置为可控地横跨衬底扫描初级电子束并解扫描发射的电子束。 还公开了其它实施例。 |
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