要解决的问题 : 提供一种combtooth-型探针在产品中的不规则性和增强产品的成品率降低。

溶液 : 所述梳齿形探针10包括一固定部分1，一可动部2，一探针3和一支撑部4。一种combteeth驱动10a是构成，使得所述梳齿形凹凸部的所述固定部分1和所述梳齿形凹凸部的所述可动部分2中被啮合与每个其它一非接触状态和所述可动部分2是一Z-方向中的振动通过所述的静电通过一个AC电源7施加的力。由于一功能薄膜等的压电层是不使用中，以便激发所述可动部分2，该产品的成品率所述梳齿形探针10为高。当所述可动部分2接收该外部力的效果(该探针3之间的所述原子力和一个样品S)，所述的导纳所述梳齿驱动器10a的变化。所述检测到的导纳是通过导纳检测器20和所述位移量的所述可动部分2被计算从所述检测值。