要解决的问题 : 以提供一个扫描探针显微镜探针的控制方法可测量的不规则所述样品表面的形状或该等通过一步骤-相对于一个预先确定的测量点的方法中，提高测量的吞吐量，和降低所述探针的碰撞造成的破损或损伤。

溶液 : 该用于所述扫描探针显微镜探针控制方法是采用用于改变所述的相对位置关系。该探针20和样品12之间，和通过一个测量部分测量所述样品表面，同时扫描所述样品通过所述探针表面。所述探针相对于所述测量点的扫描运动包括一过程用于发送所述探针在固定所述非接触状态与所述样品中的间隔由XY细运动机构29或一个XY台14的一个过程，用于使所述探针靠近所述在所述测量样品和成与其接触的点，和一个过程用于后退的所述探针从所述样品。另外，该步骤用于移动所述探针与所述下一预定的测量点包括一个步骤，用于预测一测量位置在所述下一个测量点通过在至少两个前测量点测量的值，和一个步骤用于确定一个接近起始点到该测量点通过所述预测。