| 扫描探针显微镜 |
| JP2006304678 2006-11-10 发明申请 |
| 2007-4-5 |
| 要解决的问题 : 以提供一个扫描探针显微镜，其可以提高刚性的一个XY微动机构不扫描区域变窄，增加所述扫描速度，和一种装置小型化。 溶液 : 所述扫描探针显微镜包括一个XY精细的运动机构6设置在一悬臂侧，用于两维移动一悬臂1具有一探头1A在其尖端在所述平行的方向与所述表面样品2，和一XY精细的运动机构12设置一样品架上侧用于两维移动一样品夹持器13用于安装所述样品在样品2所述平行的方向与所述表面。 版权 : (C)2007，inpit |
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