差分干涉显微镜和缺陷检查装置
 
JP2005277648  2005-9-26  发明申请

2007-4-5
 
  

要解决的问题 : 以提供一个差分干涉显微镜能够拾取所述的图像的一个缺陷,而不根据所述缺陷的方向性,即使当它是具有方向性的缺陷。

溶液 : 在所述差分干涉显微镜,所述样品的差分干涉图像是拾取的一成像装置(11)和其视频信号被输出到图像处理装置。在所述图像处理装置,一个第一差动干扰图像第一中的剪切方向和第第二差分干扰图像第二中的剪切方向正交,以第一剪切方向被由。在图像组合物,第一差分干涉图像和第二的差分干涉图像是由通过总和--二乘法处理; 由此,它们分别由。由于该符号的所述图像的亮度信息通过所述的总和--是反相的正方形处理,一个亮环-等所述边缘图像部分是沿着该周边形成的所述缺陷的,所述无缺陷和所述的图像从方向性被拾取。

版权 : (C)2007,inpit

 
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