利用样品间距的扫描探针显微镜方法和装置
 
US11241093  2005-9-30  发明申请

2007-4-5
 
  优选实施例涉及一种操作扫描探针显微镜(SPM)以使用少于五行,更优选两行的测量扫描来执行样品测量的方法和设备,以精确定位样品的特征场。 这是通过在测量扫描的相邻行之间选择不等于特征在垂直于测量扫描横穿方向的方向上的间距,即不等于特征在扫描方向XPO上的间距的步进距离来实现的。 扫描的纵横比也可以被修改以进一步提高样品吞吐量。
 
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