| 一种应用于扫描电子显微镜硅片样品镀铂金的载体 |
| CN200520047316.2 2005-12-8 实用新型 |
| 2007-4-4 |
| 本实用新型公开了一种应用于扫描电子显微镜 硅片样品镀铂金的载体，它不但可以同时加工多个硅片样品， 同时也便于区分，另外可以使硅片样品的表面与断面能够均匀 镀上铂金。它是一个平台，在平台表面上开有一个以上的槽， 所述的样品可以倾斜地静置在所述槽内。所述的槽的一侧与平 台表面的角度为90－135度，另一侧与平台表面的角度为135 度。所述的平台分为底座和载物平台，所述的槽开在载物平台 上。 |
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