| 电子显微镜 |
| EP06254990 2006-9-27 发明申请 |
| 2007-4-4 |
| 一个电子显微镜是提供具有一个球面像差校正系统(10)操作并有效地防止不希望的入侵像差。转印光学系统(14)之间插入球面像差校正器(13)和所述的物镜(15)。所述转印光学系统由第一和第二的透镜(14a，14b)的每个制成的，它是一个磁性透镜。电子横穿一个点位于距离r0处从所述的光学轴(0)被制成以进入所述第一所述多极内透镜元件(20)。电子是由进入第二透镜在所述入射点到所述物镜的透镜距离R1从所述的光学轴。所述比m(=R1R0)是大于1。 |
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