要解决的问题 : 提供一种图像处理器，用于提高所述的成功率和精度的图案匹配两个图像，而不会降低该长度测量的所述检查工作的效率或等，一种图像处理方法。和一种扫描电子显微镜。

溶液 : 该扫描电子显微镜10包括所述图像处理器4用于执行所述图案的匹配第一图像和一个第二的图像。所述图像处理器4包括 : 一个彩色编码的图像生成部41用于产生一个颜色-所述的基础上编码的图像第一的图像; 一个质心分布图像生成部42用于产生一个质心分布通过平滑所述彩色-图像的编码图像; 一轮廓线段组生成部43，用于所述的基础上产生一轮廓线段组第二图像; 一匹配得分计算部44用于该质心所述的基础上计算一个匹配得分分布图像和所述轮廓线段组; 和一个最大得分位置检测部45用于检测一个在其位置所述匹配得分变得最大。