扫描电子显微镜和图像信号处理方法。
 
JP2005267089  2005-9-14  发明申请

2007-3-29
 
  

要解决的问题 : 以提供一个SEM能够测量和调节的动态范围的亮度的强度一显示图像,并提供一种图像信号处理方法。

溶液 : 所述SEM10被提供有一动态范围的参考值设定部21以设定所述动态范围的参考值,一个动态范围调整部22以输入一观察图像信号输出通过一个二次电子检测器16,以调整所述的动态范围基于所观察的图像信号在所述的动态范围的参考值; 和向输出调整后所观察的图像信号作为所述调整后观察图像信号,一显示图像形成部24,以获得所述基于所述显示图像的各个像素的亮度强度在所述调整后观察图像信号和以形成所述显示图像,一个直方图形成部26,以形成所述亮度的直方图的强度所述显示图像和与所述亮度强度提取的频率的所述最大值作为所述亮度强度峰值值,和一个显示部分27以显示所形成的直方图和所述提取的亮度强度峰值的值。

版权 : (C)2007,inpit

 
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