| 等离子体发生器和扫描电子显微镜 |
| JP2005270362 2005-9-16 发明申请 |
| 2007-3-29 |
| 要解决的问题 : 以提供一个小的等离子发生器上的噪声和防止不良影响几乎不影响一个图像检测系统由等离子体中产生的光，以提供一种扫描电子显微镜。 溶液 : 所述等离子体发生器包括一圆柱形石英管60内部，用于电离气体流，一个高频率线圈63缠绕在该尖端部的所述石英管60，一种模具65覆盖所述的外周所述石英管60和所述的高频线圈63，一金属部66覆盖该整个的一个焊炬和以所述阳极部的附近，一个扼流圈73所述金属部分66安装在所述的内部; 一管67，和所述阳极74。 版权 : (C)2007，inpit |
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