问题要解决的 : 一种扫描电子显微镜的，以提高总吞吐量。
溶液 : 信息相关的一个样品如所述样品的高度，对准信息或该等从所得到的样品5容纳一种负载锁定部15的样品中的信息获取装置等高度检测设备或一个光学显微镜30设置在所述负载锁定部15，在与压力降低平行执行的工作当将该样品5从所述负载锁定部分15以一样品室22。
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