扫描电子显微镜
 
JP2005260012  2005-9-8  发明申请

2007-3-22
 
  

要解决的问题 : 以使以改变一个微处理器控制的存储器中所描述的内容,一个FPGA和一个CPLD,其被用作一种扫描电子显微镜组件的元件,而不移动从该开发基的一制造商或业务中心。

溶液 : 一种扫描电子显微镜的SEM照片的控制装置41装置体10被设置在一维护模式通过一计算机50处理一个操作功能的关于一种具有一正常的SEM观测操作处理控制装置41,或一个关于一种观测操作通过一数据输出功能的电信线80从一个维护计算机60一种开发的基,所述制造商的一个业务中心或等。在这种状态,每个所期望的部分的控制内容的装置本体控制系统30被改变通过所述的计算机50之间的通信通过一个控制命令和所述SEM控制装置41。

版权 : (C)2007,inpit

 
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