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用于原子力显微镜和其它应用的振荡器

US11506757 2006-8-18 发明申请

2007-3-22

一种用于原子力显微镜的装置，例如传感器。所述装置包括第一振荡器，第二振荡器，互连所述第一振荡器和第二振荡器以扭转悬挂所述第一振荡器的一对第一同轴构件，支撑结构，和一对第二同轴构件，所述一对第二同轴构件的轴线与所述第一同轴构件的轴线正交，并且互连所述第二振荡器和所述支撑结构以扭转悬挂所述第二振荡器。